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國產(chǎn)化率僅12%！一文看懂半導(dǎo)體關(guān)鍵原料電子特氣
欄目：行業(yè)動態(tài)
發(fā)布時間：2024-11-11
近年來，隨著國家的對于集成電路產(chǎn)業(yè)的重視以及資本的支持，國內(nèi)的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，但是與國外仍有不小的差距。特別是在上游的半導(dǎo)體材料等領(lǐng)域，更是差距巨大。不過，隨著國內(nèi)半導(dǎo)體制造的崛起，也推動了半導(dǎo)體材料的國產(chǎn)化進(jìn)程。
從近幾年大陸半導(dǎo)體材料、設(shè)備的需求占比來看，大陸半導(dǎo)體材料市場規(guī)模占全球的比重由 2013 年的約 4%提升到 2018 年的約 16%，大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模占全球比重由 2016 年的約 16%提升到 2018 年的約 20%。而可預(yù)見的未來，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)能的增加將進(jìn)一步帶動本地半導(dǎo)體材料需求。
雖然目前各大主要品類的半導(dǎo)體材料領(lǐng)域均有國內(nèi)企業(yè)涉足，但整體對外依存度仍在 60%以上，特別地，大尺寸半導(dǎo)體硅片、光刻膠、電子特氣等材料更為依賴進(jìn)口，進(jìn)口替代空間巨大。
不久前，芯智訊就通過《90%市場被國外廠商壟斷，光刻膠國產(chǎn)化急需提速！》一文，為大家介紹了中國在半導(dǎo)體制造所需的關(guān)鍵材料——光刻膠領(lǐng)域的現(xiàn)狀。今天，芯智訊再來為大家介紹另一種半導(dǎo)體制造所需的關(guān)鍵材料——電子特氣的國產(chǎn)化布局。
一、電子特氣：半導(dǎo)體工業(yè)的關(guān)鍵原料
電子特氣是電子工業(yè)的關(guān)鍵原料，屬于工業(yè)氣體的重要分支。工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)的基礎(chǔ)原材料，而電子特氣是工業(yè)氣體中附加值較高的品種，與傳統(tǒng)工業(yè)氣體的區(qū)別在于純度更高（如高純氣體）或者具有特殊用途（如參與化學(xué)反應(yīng)），是極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的基礎(chǔ)和支撐性材料之一，相關(guān)下游領(lǐng)域的快速發(fā)展將帶動未來特種氣體的增量需求。
半導(dǎo)體特氣應(yīng)用于晶圓制造的各個環(huán)節(jié)。狹義的“電子氣體”特指電子半導(dǎo)體行業(yè)用的特種氣體，主要應(yīng)用于前端晶圓制造中的化學(xué)氣相沉積、光刻、刻蝕、摻雜等諸多環(huán)節(jié)。電子特種氣體的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性，對于半導(dǎo)體集成電路芯片的質(zhì)量和性能具有重要意義。
1、行業(yè)兼具技術(shù)、客戶認(rèn)證等壁壘
半導(dǎo)體電子特氣行業(yè)具有較高的技術(shù)壁壘。半導(dǎo)體電子特種氣體在生產(chǎn)過程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項(xiàng)工藝技術(shù)，每一步均有嚴(yán)格的技術(shù)參數(shù)要求和質(zhì)量控制措施。
為了保證半導(dǎo)體器件的質(zhì)量與成品率，特種氣體產(chǎn)品要同時滿足“超純”和“超凈”的要求，“超純”要求氣體純度達(dá)到 4.5N、5N 甚至 6N、7N（N 是 Nine 的簡寫，幾個 N 就代表有幾個 9，例如 3N 的純度為 99.9%），“超凈”即要求嚴(yán)格控制粒子與金屬雜質(zhì)的含量。作為特種氣體的核心參數(shù)，純度每提升一個 N，粒子、金屬雜質(zhì)含量濃度每降低一個數(shù)量級，都將帶來工藝復(fù)雜度和難度的顯著提升。
對于混合氣而言，配比的精度是核心參數(shù)，隨著產(chǎn)品組分的增加、配制精度的上升，客戶常要求氣體供應(yīng)商能夠?qū)Χ喾N ppm（part per million，百萬分之）乃至 ppb（part perbillion，十億分之）級濃度的氣體組分進(jìn)行精細(xì)操作，其配制過程的難度與復(fù)雜程度也顯著增大。此外，氣瓶處理、氣體分析檢測、氣體配送等環(huán)節(jié)亦對生產(chǎn)企業(yè)提出了較高的技術(shù)要求。
下游客戶認(rèn)證亦是攻堅(jiān)難點(diǎn)。作為關(guān)鍵性材料，特種氣體的產(chǎn)品質(zhì)量對下游產(chǎn)業(yè)的正常生產(chǎn)影響巨大。如果晶圓加工環(huán)節(jié)所使用的氣體發(fā)生質(zhì)量問題，將導(dǎo)致整條生產(chǎn)線產(chǎn)品報(bào)廢，造成巨額損失。因此極大規(guī)模集成電路、新型顯示面板等精密化程度非常高的下游產(chǎn)業(yè)客戶對氣體供應(yīng)商的選擇極為嚴(yán)格、審慎，需要經(jīng)過審廠、產(chǎn)品認(rèn)證 2 輪嚴(yán)格的審核認(rèn)證，集成電路領(lǐng)域的審核認(rèn)證周期長達(dá) 2-3 年。
另一方面，為了保持氣體供應(yīng)穩(wěn)定，客戶在與氣體供應(yīng)商建立合作關(guān)系后不會輕易更換氣體供應(yīng)商，且雙方會建立反饋機(jī)制以滿足客戶的個性化需求，客戶粘性不斷強(qiáng)化。因此，對新進(jìn)入者而言，長認(rèn)證周期與強(qiáng)客戶粘性形成了較高的客戶壁壘。
行業(yè)還具有營銷網(wǎng)絡(luò)、服務(wù)壁壘。營銷網(wǎng)絡(luò)主要體現(xiàn)在氣體公司需要投入大量人力物力進(jìn)行鋪點(diǎn)建設(shè)，不斷擴(kuò)大營銷服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，以滿足下游客戶對氣體種類、響應(yīng)速度、服務(wù)質(zhì)量的高要求。氣體下游客戶需要的服務(wù)則包括包裝容器處理、檢測、維修及供氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、安裝乃至氣體供應(yīng)商的配送服務(wù)等。
二、市場潛力大，電子特氣需求迅速增長
1、半導(dǎo)體行業(yè)支撐電子特氣需求
電子特氣在半導(dǎo)體制造材料中占比僅次于硅片。半導(dǎo)體材料包括晶圓制造材料和封裝材料。其中晶圓制造材料包括硅片、光掩模、光刻膠、光刻膠輔助材料、工藝化學(xué)品、電子特氣、靶材、CMP 拋光材料及其他材料。2018 年全球半導(dǎo)體晶圓材料市場規(guī)模為322.0 億美元，同比增長 15.8%，全球半導(dǎo)體封裝測試材料市場規(guī)模為 197.0 億美元，同比增長 3.1%。
根據(jù) SEMI 的數(shù)據(jù)，2018 年電子氣體在晶圓制造材料市場中占比達(dá)到12.9%，僅次于占比 36.6%的硅片，市場規(guī)模巨大。
全球半導(dǎo)體市場規(guī)模龐大，晶圓廠數(shù)目不斷增加，電子特氣需求量不斷提升。全球范圍來看，隨著全球半導(dǎo)體市場規(guī)模在 2018 年的高增長，全球集成電路用電子氣體的市場規(guī)模達(dá)到 45.1 億美元（約合人民幣318.7億元），市場規(guī)模較上年同比增加了 15.9%，但從整體來看，2013-2018年的平均增速稍低，僅為 6.3%。
國內(nèi)范圍來看，2018 年，我國電子氣體市場規(guī)模達(dá)到了 121.6 億元，較上年同比增加了 11.2%（2013-2018 年的增速達(dá) 13.3%）。在全球營收中的占比已達(dá)38.15%。
根據(jù) IC Insights 的統(tǒng)計(jì)，2018 年全球共有 112 家 12 英寸晶圓廠，至 2023 年這一數(shù)字有望增至 138 家。
根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù)，2019 年硅晶圓的出貨面積為 118.1 億平方英寸，營收達(dá)112億美元，均為較高水平。2013-2018年半導(dǎo)體市場規(guī)模的平均增長率達(dá)8.9%，2020 年半導(dǎo)體下游需求可能會受疫情影響，但從中長期看，隨著 5G 技術(shù)、新能源汽車、云服務(wù)器等市場的增長，有望帶動行業(yè)進(jìn)入新的增長期。作為半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)中占比第二高的材料，電子特氣的需求也有望不斷提升。
2、復(fù)雜芯片制造刺激電子特氣需求
邏輯芯片和存儲芯片為集成電路主要增長動力。根據(jù) WSTS 的數(shù)據(jù)，集成電路是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中最主要的市場，規(guī)模占比維持在 80%以上。
集成電路可分為邏輯芯片、存儲芯片、微處理芯片和模擬芯片。2019 年邏輯芯片和存儲芯片銷售額分別為 1046.2 億美元和 1059.1 億美元，占集成電路比例分別為 31.7%和 32.1%，為集成電路的主要增長動力。由于價格大幅波動等原因，2019 年邏輯芯片和存儲芯片的銷售額出現(xiàn)較大幅度下滑，但 WSTS 預(yù)測 2020 年有望繼續(xù)恢復(fù)增長。
隨著集成電路制造要求復(fù)雜度的提升，制造中所使用的電子特氣用量也將提升。根據(jù)德國普爾茨海姆應(yīng)用技術(shù)大學(xué)工業(yè)生態(tài)研究所（INEC）的 Mario Schmidt 教授等人共同撰寫的論文《用于微電子芯片和太陽能電池硅片加工的生命周期評估》，硅晶圓的加工離不開大量化學(xué)試劑以及特殊氣體，這些氣體可以用于包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等工序。
經(jīng)測算，每平方米邏輯電路晶圓加工所需要的電子特氣約為 37.3kg，每平方米存儲電路晶圓加工需要約 12.0kg 的電子特氣。邏輯芯片和存儲芯片本身在集成電路中的占比就超 6 成，隨著未來 5G 和汽車電子化的趨勢以及集成電路技術(shù)與制造工藝的提升，電子特氣的用量也會得到大幅度的提升。
三、進(jìn)口替代大勢所趨，供給格局向國內(nèi)集中
1、進(jìn)口替代勢在必行，本土企業(yè)優(yōu)勢顯現(xiàn)
①國外龍頭壟斷市場，進(jìn)口替代空間廣闊
國外龍頭壟斷國內(nèi)市場，進(jìn)口替代空間廣闊。根據(jù)中國產(chǎn)業(yè)信息網(wǎng)的資料顯示，空氣化工、普萊克斯、林德集團(tuán)、法液空、大陽日酸等海外企業(yè)合計(jì)占據(jù)國內(nèi)電子特氣約 88%的市場份額，市場高度集中（國內(nèi)氣體公司份額僅有12%）。這些企業(yè)多為全球工業(yè)氣體龍頭，具有長期的技術(shù)積淀和客戶積累，實(shí)力強(qiáng)勁，電子特氣僅為其業(yè)務(wù)的一部分。目前國內(nèi)尚缺體量與上述龍頭相匹敵的電子特氣公司，但通過分析國內(nèi)發(fā)展環(huán)境的變化，特種氣體產(chǎn)品特征，以及國外龍頭企業(yè)特質(zhì)等方面，我們認(rèn)為國內(nèi)電子特氣企業(yè)逐步實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代是大勢所趨。
②與其他半導(dǎo)體材料相比，電子特氣國產(chǎn)替代已先行一步
橫向?qū)Ρ认拢娮犹貧膺M(jìn)口替代進(jìn)度更快，國內(nèi)企業(yè)正逐步突破。半導(dǎo)體材料各品類均有較高的技術(shù)及客戶壁壘，通過對比各半導(dǎo)體材料國內(nèi)頭部公司的工藝水平，不難發(fā)現(xiàn)，部分電子特氣已能達(dá)到 14nm 或 7nm 制程節(jié)點(diǎn)，進(jìn)口替代進(jìn)程相對更快。
另外，由于特種氣體種類多樣，各類氣體之間制備難度參差不齊，國內(nèi)企業(yè)可以借助六氟化硫、四氟化碳等制備難度相對較小的刻蝕氣、清洗氣產(chǎn)品打入晶圓廠供應(yīng)鏈，后續(xù)逐步配套摻雜氣、CVD 前驅(qū)體等高端產(chǎn)品，或直接收購海外高端產(chǎn)品公司，豐富產(chǎn)品線的同時增加客戶儲備。雖然我國電子氣體已經(jīng)擺脫了完全依賴于進(jìn)口的局面，但是面對國外龍頭公司壟斷較高壁壘的市場，國內(nèi)電子特氣企業(yè)依然面臨著較大的競爭壓力。
③高運(yùn)維成本造就本地化配套優(yōu)勢
較高的運(yùn)輸和現(xiàn)場維護(hù)成本造就本地化配套優(yōu)勢。多品少量是電子特氣的特點(diǎn)，因此相比現(xiàn)場制氣的空分氣體，采用零售方式進(jìn)行氣體銷售更為普遍，但零售氣體對于國外企業(yè)來講，需要付出更高的運(yùn)輸和維護(hù)成本。
運(yùn)輸成本方面，以林德集團(tuán)為例，作為全球工業(yè)氣體龍頭，林德在國內(nèi)的空分裝置點(diǎn)有11 個，相比較之下，特種氣體工廠僅 2 個?？紤]到林德集團(tuán)在國內(nèi)的特種氣體工廠較少，因此大量的特種氣體需從海外運(yùn)輸，而從歐洲、美國運(yùn)至國內(nèi)耗時約 30 天，運(yùn)輸費(fèi)用預(yù)計(jì)不低于國內(nèi)的長途運(yùn)輸，運(yùn)輸成本將更高。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體晶圓廠從華東、華北向全國范圍擴(kuò)散，未來本地特氣企業(yè)將具有顯著的運(yùn)輸成本優(yōu)勢。
維護(hù)成本方面，我們以具有近 50 年運(yùn)營經(jīng)驗(yàn)的慧瞻材料的業(yè)務(wù)模式為例進(jìn)行分析。2018年慧瞻材料的營收中，材料占比約 65%，剩下 35%為設(shè)備安裝及現(xiàn)場維護(hù)。但從人員配置上看，材料業(yè)務(wù)在全球有 12 個工廠，分布在美國、韓國和中國臺灣（美國 7 家，韓國 4 家，中國臺灣 1 家），相應(yīng)工作人員在 830 名左右；而設(shè)備安裝及現(xiàn)場維護(hù)業(yè)務(wù)的人員配置達(dá) 900 人，其中現(xiàn)場服務(wù)環(huán)節(jié)人員 400 人，營業(yè)利潤率低于材料業(yè)務(wù)。顯然，中國大陸企業(yè)相應(yīng)的運(yùn)輸服務(wù)及現(xiàn)場維護(hù)將更為快速，且成本更低。
2、業(yè)務(wù)模式與國內(nèi)企業(yè)競爭格局
①海外成熟企業(yè)的業(yè)務(wù)模式
林德模式：從空分氣體設(shè)備供應(yīng)商向氣體綜合解決方案提供商蛻變。從林德集團(tuán)的半導(dǎo)體工廠配氣裝置可以發(fā)現(xiàn)，氣體服務(wù)是一項(xiàng)系統(tǒng)工程，包括超純大宗氣體、現(xiàn)場氣體發(fā)生器、氣瓶和批量供應(yīng)的電子特種氣體，另外還涉及到大宗氣體儲存和分配系統(tǒng)、氣柜和配氣管等系統(tǒng)和專業(yè)服務(wù)等。
回顧林德等工業(yè)氣體龍頭可以發(fā)現(xiàn)，其早期以空分氣體及設(shè)備為立足點(diǎn)，逐步打入電子用氣、醫(yī)療用氣等領(lǐng)域，其優(yōu)勢在于利用大型空分裝置切入下游客戶，借助平臺優(yōu)勢順勢發(fā)展成為氣體綜合解決方案提供商。
對應(yīng)地，林德的氣體業(yè)務(wù)營收占比已由 2015 年的 75.0%提升至 2018 年的 85.4%。
慧瞻模式：專注電子特氣，內(nèi)生+收購，從單一品類向多品類拓展。慧瞻材料成立于 2015年，前身為空氣化工產(chǎn)品公司的電子材料部，后單獨(dú)上市，空氣化工產(chǎn)品公司的股東即為慧瞻材料的原始股東。公司于 20 世紀(jì) 70 年代進(jìn)軍電子行業(yè)，立足于三氟化氮等產(chǎn)品，逐步向整套電子化學(xué)品拓展?；壅安牧系暮诵母偁幜υ谟诋a(chǎn)品多樣性、服務(wù)即時性以及客戶的優(yōu)質(zhì)性。
公司產(chǎn)品包括有機(jī)硅烷、金屬有機(jī)化合物等薄膜沉積前驅(qū)體，CMP 漿料（拋光液），拋光清洗液，刻蝕，清洗氣體，高純離子摻雜氣體等。服務(wù)方面，公司在美國和韓國各設(shè)立一家設(shè)備安裝及現(xiàn)場維護(hù)公司，為客戶提供即時的氣體安裝及現(xiàn)場維護(hù)服務(wù)?？蛻舴矫?，聚焦下游龍頭企業(yè)，其中 Intel、三星、臺積電為公司 2017 財(cái)年前三大客戶。公司于 2019 年底退市，退市前估值約 58 億美金，對應(yīng) PE 約 29 倍。
②國內(nèi)企業(yè)各具優(yōu)勢，競爭錯位
國內(nèi)空分企業(yè)與特氣企業(yè)分明，業(yè)務(wù)上構(gòu)筑各自壁壘。國內(nèi)氣體公司包括以杭氧、盈德、寶鋼氣體為代表的空分企業(yè)，主要是以管道氣為主的現(xiàn)場制氣項(xiàng)目，可能更適合林德模式切入特種氣體，作為氣體綜合服務(wù)商的角色，進(jìn)行空分和特氣資源的整合。作為空分巨頭，內(nèi)生進(jìn)行特氣技術(shù)和產(chǎn)品的開發(fā)，難度相對較大且所需時間周期較長，未來更多或以業(yè)務(wù)合作或收購的模式開展相關(guān)業(yè)務(wù)，相關(guān)企業(yè)的優(yōu)勢在于資金實(shí)力和體量優(yōu)勢。特氣企業(yè)的優(yōu)勢在于對細(xì)化特氣產(chǎn)品的技術(shù)積淀，以及對相應(yīng)產(chǎn)品在下游客戶的認(rèn)證壁壘，目前來看，國內(nèi)空分企業(yè)和特氣企業(yè)不存在直接的競爭。
特氣企業(yè)錯位競爭，各具優(yōu)勢。特種氣體品類較多，國內(nèi)各企業(yè)具有各自的核心產(chǎn)品品類，比如南大光電的 MO 源，雅克科技的氟碳類氣體、三氟化氮，華特氣體的六氟乙烷、光刻氣，718 所的三氟化氮、六氟化鎢，金宏氣體的超純氨等等。此外，下游的客戶也各有側(cè)重，比如金宏氣體更多面向 LED 企業(yè)，華特氣體主要面向半導(dǎo)體晶圓廠，綠菱電子主要對接國際氣體巨頭等等。我們認(rèn)為未來國內(nèi)特氣公司的成長路徑在于內(nèi)生+外 延+產(chǎn)業(yè)資源整合拓展品類，同時開拓應(yīng)用領(lǐng)域和客戶群，打造成為國內(nèi)領(lǐng)先的特種氣體一體化供應(yīng)平臺。
四、產(chǎn)業(yè)鏈重點(diǎn)公司
產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)公司眾多，主要的上市公司有華特氣體、雅克科技、昊華科技、南大光電、巨化股份、凱美特氣等。此外，金宏氣體擬科創(chuàng)板上市。
1、華特氣體：特種氣體國產(chǎn)化先行者
華特氣體前身為南海市華特氣體有限公司，公司成立之初，主要從事普通工業(yè)氣體的充裝、零售，2005 年正式確立特種氣體為主要研發(fā)及發(fā)展方向。目前公司業(yè)務(wù)主要分為特種氣體、普通工業(yè)氣體、氣體設(shè)備與工程三大部分。
公司下游客戶包括中芯國際、長江存儲、臺積電等知名晶圓廠商。公司發(fā)布 2019 業(yè)績快報(bào)，2019 年實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入 8.4億元，同比增長 3.1%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤 0.8 億元，同比增長 14.4%。2019 年上半年，公司特種氣體業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)營收 2.1 億元，占比 53.4%；實(shí)現(xiàn)毛利 0.8 億元，占比 60.1%，毛利率達(dá)到 40.7%。
公司特種氣體產(chǎn)能擴(kuò)張項(xiàng)目穩(wěn)步進(jìn)行。根據(jù)公司的招股說明書，公司擬投資 3.5 億元用于氣體中心建設(shè)及倉儲經(jīng)營項(xiàng)目，2.2 億元用于電子氣體生產(chǎn)純化及工業(yè)氣體充裝項(xiàng)目總投資。其中，氣體中心建設(shè)及倉儲經(jīng)營項(xiàng)目主要為電子特氣產(chǎn)品，電子氣體生產(chǎn)純化及工業(yè)氣體充裝項(xiàng)目也涉及對氟碳類氣體如四氟化硅、六氟乙烷等電子氣體。
氣體中心建設(shè)及倉儲經(jīng)營項(xiàng)目全部達(dá)產(chǎn)后，公司將新增產(chǎn)品年產(chǎn)能包括：高純鍺烷 10 噸、硒化氫 40 噸、磷烷 10 噸、年充裝混配氣體 500 噸、倉儲經(jīng)營銷售砷烷 10 噸、乙硼烷 3 噸、氯氣 300 噸、三氟化硼 10 噸。電子氣體生產(chǎn)純化及工業(yè)氣體充裝項(xiàng)目分兩期完成，第一期投資建設(shè)規(guī)模為年生產(chǎn) 50 噸硫化氫、年純化 10 噸鍺化氫、100 噸四氟化硅、100噸六氟乙烷、100 噸八氟乙烷、100 噸一氟甲烷。
2、雅克科技：國內(nèi)含氟氣體龍頭
公司積極轉(zhuǎn)型電子材料業(yè)務(wù)，電子特氣為方向之一。雅克科技的傳統(tǒng)業(yè)務(wù)為阻燃劑業(yè)務(wù)，2016-2018年，公司先后并購華飛電子、江蘇先科和成都科美特進(jìn)軍電子材料業(yè)務(wù)，當(dāng)前電子材料業(yè)務(wù)主要分為IC前驅(qū)體、電子特氣和封裝用球形硅微粉三大部分。公司下游客戶包括SK海力士、三星電子、臺積電、中芯國際、長江存儲等世界知名半導(dǎo)體廠商。公司發(fā)布2019年業(yè)績快報(bào)，2019年實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入18.4億元，同比增長18.6%，實(shí)現(xiàn)歸屬凈利潤2.5億元，同比增長90.6%，業(yè)績表現(xiàn)有較大增幅。2019上半年，公司電子特氣業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入1.8億元，占比20.3%，實(shí)現(xiàn)毛利0.8億元，占比28.3%，毛利率達(dá)到46.9%。
2018 年公司完成了對成都科美特的股權(quán)收購，進(jìn)入半導(dǎo)體刻蝕氣體領(lǐng)域。成都科美特公司是國內(nèi)領(lǐng)先的六氟化硫和四氟化碳生產(chǎn)商，在行業(yè)內(nèi)具有較強(qiáng)的競爭優(yōu)勢。公司通過控制成都科美特進(jìn)入半導(dǎo)體刻蝕氣體領(lǐng)域，豐富了公司的產(chǎn)品鏈。目前，科美特現(xiàn)已具備年產(chǎn)六氟化硫 8500 噸和年產(chǎn) 1200 噸電子級四氟化碳的生產(chǎn)能力，年產(chǎn) 3500 噸半導(dǎo)體用電子級三氟化氮項(xiàng)目正在建設(shè)中。此外，公司計(jì)劃通過新項(xiàng)目技術(shù)更新和項(xiàng)目建設(shè)，將六氟化硫的設(shè)計(jì)年產(chǎn)能增加至 13000 噸，四氟化碳的計(jì)劃年產(chǎn)能增加至 2700 噸。
3、昊華科技：國內(nèi)高端氟材料及電子特氣領(lǐng)軍者
公司前身為天科股份，主營變壓吸附氣體分離技術(shù)及成套裝置、催化劑產(chǎn)品、碳一化學(xué)及工程設(shè)計(jì)。2018 年底中國昊華將旗下黎明院和光明院等 11 家化工研究院注入上市公司體內(nèi)，并更名為昊華科技。2018 全年及 2019 年三季度，公司分別實(shí)現(xiàn)營收 41.8、33.3 億元，同比分別增長 14.7%、13.0%；分別實(shí)現(xiàn)歸母凈利 5.3、3.3 億元，同比分別增長 61.1%和降低 1.9%。2018 年，公司電子特氣業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入 3.0 億元，占比7.2%，實(shí)現(xiàn)毛利 1.0 億元，占比 7.9%，毛利率達(dá)到 33.9%。
公司旗下黎明院、光明院主營電子特氣。黎明院和光明院均為優(yōu)質(zhì)化工科技型企業(yè)，科研力量雄厚。在含氟電子特氣領(lǐng)域，公司下屬黎明院主要產(chǎn)品六氟化硫、三氟化氮國內(nèi)領(lǐng)先，在建六氟化鎢產(chǎn)能。黎明院是國內(nèi)最早從事六氟化硫研發(fā)的企業(yè)，亦為國內(nèi)僅有的高純度六氟化硫研制企業(yè)。公司下屬光明院的特種氣體產(chǎn)品在國防化工新材料、半導(dǎo)體集成電路、氣體分析等領(lǐng)域具有行業(yè)領(lǐng)先優(yōu)勢。光明院在建高純電子氣體項(xiàng)目，將開發(fā) 8 英寸以上集成電路制造用乙硼烷、三氟化硼、電子混合氣等電子氣體產(chǎn)品。
含氟特氣項(xiàng)目即將帶來增量。公司公告旗下全資子公司黎明院擬投資 9.1 億元建設(shè) 4600噸含氟特氣項(xiàng)目，包括 3000 噸三氟化氮、1000 噸四氟化碳和 600 噸六氟化鎢，建設(shè)期預(yù)計(jì)為項(xiàng)目批復(fù)后 18 個月。根據(jù)項(xiàng)目可行性報(bào)告，預(yù)計(jì)項(xiàng)目總投資收益率為 14.5%；財(cái)務(wù)內(nèi)部收益率 17.1%，項(xiàng)目投資回收期為 6.7 年（含建設(shè)期 1.5 年）。三氟化氮可用作液晶顯示器的清洗劑及半導(dǎo)體的清洗和蝕刻，六氟化碳的主要作用于面板及半導(dǎo)體領(lǐng)域的清洗劑和蝕刻劑量，六氟化鎢主要用于金屬鎢化學(xué)氣相沉積 CVD 的原材料。隨著新增項(xiàng)目的建成與投產(chǎn)，含氟特氣將成為公司帶來業(yè)績新增量。
4、南大光電：MO 源龍頭進(jìn)軍電子特氣市場
先進(jìn) MO 源生產(chǎn)企業(yè)，積極布局電子化學(xué)市場。公司是一家專業(yè)從事先進(jìn)電子材料——高純金屬有機(jī)化合物(MO 源)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)，對關(guān)鍵技術(shù)擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，亦是全球 MO 源領(lǐng)導(dǎo)供應(yīng)商之一。公司在 MO 源的合成制備、純化技術(shù)、分析檢測、封裝容器等方面已全面達(dá)到國際先進(jìn)水平，可以實(shí)現(xiàn) MO 源產(chǎn)品的全系列配套供應(yīng)。公司正積極拓展新的領(lǐng)域，已經(jīng)開發(fā)出多款應(yīng)用于 IC 行業(yè)的先進(jìn)電子化學(xué)品并通過了客戶驗(yàn)證。公司發(fā)布 2019 年業(yè)績快報(bào)，2019 年實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入 3.2 億元，同比增長 38.6%，實(shí)現(xiàn)歸屬凈利潤 0.5 億元，同比增長 4.0%，業(yè)績小幅提升。2019 上半年，公司電子特氣業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入 0.5 億元，占比 33.4%，實(shí)現(xiàn)毛利 0.3 億元，占比 44.3%，毛利率達(dá)到 60.8%。
公司設(shè)立全椒子公司，進(jìn)軍特種氣體領(lǐng)域。2017 年公司控股子公司全椒南大光電完成了高純磷烷、砷烷產(chǎn)品的研發(fā)和產(chǎn)線建設(shè)，依托母公司成熟的銷售渠道和優(yōu)良的技術(shù)支持，順利將高純磷烷、砷烷產(chǎn)品在 LED 行業(yè)進(jìn)行市場推廣，并納入到客戶的大規(guī)模生產(chǎn)中，取得了較好的銷售收入。
收購飛源氣體股權(quán)，布局氟系電氣市場。2019 年 11 月，公司采用現(xiàn)金收購及增資方式取得山東飛源氣體有限公司 58.0%股權(quán)。飛源氣體具備生產(chǎn) 1000 噸 NF3 的年產(chǎn)能和2000 噸 SF6 的年產(chǎn)能。飛源氣體的團(tuán)隊(duì)擁有 20 年氟化工工程經(jīng)驗(yàn)，擁有較強(qiáng)持續(xù)研發(fā)能力，已經(jīng)完成多種關(guān)鍵含氟電子材料的產(chǎn)業(yè)化準(zhǔn)備。此次戰(zhàn)略合作，將有利于南大光電做大做強(qiáng)含氟電子特氣業(yè)務(wù)。
5、巨化股份：氟化工一體化龍頭，布局電子特氣業(yè)務(wù)
氟化工龍頭，聯(lián)手大基金布局電子特氣業(yè)務(wù)。公司擁有國內(nèi)領(lǐng)先的氟化工、氯堿化工綜合配套的氟化工制造業(yè)基地。2018 年 4 月，為避免同業(yè)競爭，公司將博瑞電子及其子公司博瑞中硝、凱圣氟化學(xué)及其子公司凱恒電子 100%股權(quán)轉(zhuǎn)至中巨芯科技有限公司。中巨芯是由公司、國家大基金和其他公司共同出資成立的聯(lián)營企業(yè)。公司與國家大基金分別出資 3.9 億，對中巨芯的持股比例均為 39%。
博瑞電子及其子公司博瑞中硝專注電子特氣業(yè)務(wù)。博瑞電子的業(yè)務(wù)涵蓋電子氣體板塊，產(chǎn)品主要包括電子級氯氣、氯化氫，電子級氟化氫等含氟系列氣體，主要用于集成電路、平板顯示等制造過程中的干式和濕式清洗、蝕刻、成膜及摻雜等工藝。
6、凱美特氣：國內(nèi)食品級液體 CO2龍頭
公司積極開拓工業(yè)氣體市場。公司由深圳化塑、中石化巴陵石化以及香港信德共同出資成立，是國內(nèi)以化工尾氣為原料，年產(chǎn)能最大的食品級液體二氧化碳生產(chǎn)企業(yè)。除 CO2業(yè)務(wù)之外，公司近年積極布局其他工業(yè)氣體，產(chǎn)品還包括氬氣、氫氣、精餾可燃?xì)獾取＝陙砉I(yè)氣體業(yè)務(wù)快速發(fā)展，2019 年半年度營收累計(jì)占比超過 50%。公司發(fā)布 2019年業(yè)績快報(bào)，2019 年實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入 5.1 億元，同比增長 2.0%，實(shí)現(xiàn)歸屬凈利潤 0.9 億元，同比下降 4.1%。
長嶺凱美特成功開車，氫氣供氣量增加。公司于 2019 年 8 月 20 日發(fā)布子公司長嶺凱美特技改完成并重啟的公告，在歷時 270 天的技術(shù)改造后，長嶺凱美特變壓吸附裝置改造后引入中石化長嶺分公司制氫裝置乙苯尾氣，順利產(chǎn)出合格的氫氣送入中石化長嶺分公司裝置氫氣管網(wǎng)。本次裝置重啟后，原材料氫氣將穩(wěn)定供應(yīng)，開工率有望實(shí)現(xiàn)大幅提升。
公司電子氣體項(xiàng)目穩(wěn)步進(jìn)行。2017 年 9 月公司發(fā)布公告，通過引進(jìn)國外技術(shù)，總投資3.1 億元，新建 25 套電子特種氣體項(xiàng)目生產(chǎn)裝置，采用低溫吸附、深冷精餾分離、電解、催化合成技術(shù)，即將擁有生產(chǎn)高純度電子氣體的工藝。電子特氣項(xiàng)目先期啟動一期項(xiàng)目建設(shè)，建設(shè)規(guī)模為新建 12 套電子特種氣體生產(chǎn)及輔助裝置。一期工程產(chǎn)品方案為：5N氪、5N 氙、5N 一氧化碳、5N 氖、6N 氦、6N 氫、6N 二氧化碳、6N 氮?dú)狻?N 氬氣和氟基激光混配氣、動態(tài)混配氣、氯化氫基激光混配氣三種混配氣體。電子特氣項(xiàng)目在未來的建成投產(chǎn)，將為公司增加新的利潤增長點(diǎn)。
7、金宏氣體：深耕長三角地區(qū)，氣體行業(yè)領(lǐng)跑者
金宏氣體是長三角地區(qū)的氣體廠商，公司目前已初步建立品類完備、布局合理、配送可靠的氣體供應(yīng)和服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，能夠?yàn)榭蛻籼峁┨胤N氣體、大宗氣體和天然氣三大類100多個氣體品種。公司的特種氣體品種包括：超純氨、氫氣、氧化亞氮、氦氣、混合氣、醫(yī)用氣體、氟碳?xì)怏w等。公司下游客戶包括集成電路行業(yè)的晶方半導(dǎo)體、上海新傲、廈門聯(lián)芯；液晶面板行業(yè)的京東方、天馬微電子、TCL華晶、中電熊貓；LED行業(yè)的三安光電、聚燦光電、乾照光電；光纖通信行業(yè)的亨通光電、富通集團(tuán)；光伏行業(yè)的通威太陽能、天合光能、隆基股份等。公司2019年實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入11.6億元，同比增長8.5%，實(shí)現(xiàn)歸屬凈利潤1.8億元，同比增長27.4%。2019年，公司特種氣體業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入4.6億元，占比39.6%，實(shí)現(xiàn)毛利2.5億元，占比44.7%，毛利率達(dá)到54.8%。
募資開拓氣體市場，加大半導(dǎo)體用特種氣體項(xiàng)目建設(shè)。公司擬投資 2.1 億元建設(shè)“張家港金宏氣體有限公司超大規(guī)模集成電路用高純氣體項(xiàng)目”，項(xiàng)目建成后將形成年提純2,400 萬標(biāo)立方米高純氫氣、年生產(chǎn) 1,000 噸 5N 高純二氧化碳、25 噸 5N 高純甲烷、100 噸 5N 高純六氟乙烷、60 噸 5N 高純?nèi)淄楹?100 噸 5N 高純八氟環(huán)丁烷的生產(chǎn)規(guī)模。項(xiàng)目建設(shè)期 18 個月，項(xiàng)目財(cái)務(wù)內(nèi)部收益率所得稅后 25.5%。公司擬投資約 0.3億元建設(shè)“蘇州金宏氣體股份有限公司研發(fā)中心項(xiàng)目”，研發(fā)方向?yàn)殡娮影雽?dǎo)體領(lǐng)域不可或缺的高端材料（特種氣體及其混合氣體等電子化學(xué)品）。
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